原理:由探头发出一束激光,在被测物体表面发生漫反射,反射的一束光线可以到达探头的接收器件,探头通过计算反射回来的激光束的角度计算位移量。通过这个原理,海伯森技术做出了激光位移传感器,精度可以达到纳米级,适用于高精度的测量,希望对你有所帮助。