目前常用的高真空泵有分子泵,冷泵,油扩散泵等;低真空泵旋片泵等;高真空泵由于结构的原因,不能在较差的真空状态下工作，需串接前级泵预抽真空.
罗茨真空泵广泛地应用于单晶炉、铸锭炉的配套上，以及镀膜、电工、冶炼、化工、陶瓷、航空、实验室等多种场合的真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空浸渍、真空钎焊、真空热处理、真空浓缩、真空反应、高空模拟试验等。
