简述硅片热处理意义 ①热处理温度要求：650±5℃； ②热处理目的：还原直拉单晶硅片真实电阻率； 1、热处理后电阻率会有什么变化 由于氧是在大约1400℃引入硅单晶的，所以在一般器件制造过程的温度范围（≤1200℃）
