首先搞清楚21项误差是那些误差；因为测量机都是气浮的，按照气浮的误差产生种类分为转动误差和平动误差，按照不同的旋转轴向和平动方向每轴共有6项误差，三轴共18项，加上三轴的垂直度共计21项；习惯上把旋转误差叫角摆误差，平动误差叫做直线度误差和定位精度；
角摆的补偿方法是用电子水平仪和光管，这些误差只能检测出来进行补偿，在电脑软件中建立正确的数学模型，所以只有补偿没有检测；直线度是使用千分表和花岗岩直尺检测；定位精度使用双频激光干涉仪补偿；检测是使用不低于三等精度的量块，垂直度也同样使用量块；如果镜头齐全，18项补偿都可以使用双频激光干涉仪补偿；
按照现在的国家标准，检测时是使用最长不短于全量程2/3的量块，最长1米，最短不长于30mm的5块量块打7个位置，共计105块，全部符合要求才能算是精度合格；详细内容可以查看iso10360标准。
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