关于溶胶-凝胶法制备二氧化硅纳米薄膜的问题

2025-04-07 11:18:54
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开裂的解决:
(1)原料的组成配比应严格控制在可形成溶胶的范围之内,其中TEOS、水和EtOH+i-PrOH所占的体积比分别在18%~50%、7%~52%、30%~65%范围内所形成的溶胶涂膜后膜层不易开裂。
(2)HC1作为TE0S的催化剂,HC1/TEOS之比影响着TEOS的聚合速度,从而直接关系到膜层干燥过程中的开裂与否,最佳的HC1/TEOS范围在(11~17)×10^-3。
(3)在干燥过程中保持气氛在一定的相对湿度能有效地防止膜层的开裂,在较高干燥温度下,这种作用更加明显,而且缩短干燥时问。
(4]干燥后的膜层在后续热处理过程中,热处理升温速率是影响膜层开裂的主要因素,在210度以下应采取0.25度/min的升温速率,否则极易引起膜层的开裂;在210度以上以0.5~1.O度/min升温速率升温也不会引起膜层的开裂。