电容式传感器极板之间存在静电场,式边缘处的电场分布不均匀,造成电容的边缘效应,这相当于再传感器的电容里并联了一个电容,这就叫边缘效应。不利影响:会引起极板间的电场分布不均,导致非线性问题仍让存在,且灵敏度下降。
典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时,薄膜会发生一定的变形,因此,上下电极之间的距离发生一定的变化,从而使电容发生变化。
但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系,因此,要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。
扩展资料:
以各种类型的电容器作为传感元件,由于被测量变化将导致电容器电容量变化,通过测量电路,可把电容量的变化转换为电信号输出。测知电信号的大小,可判断被测量的大小。这就是电容式传感器的基本工作原理。
可非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
电容式传感器除了上述的优点外,还因其带电极板间的静电引力很小,所需输入力和输入能量极小,因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力高,能感应0.01μm甚至更小的位移。
由于其空气等介质损耗小,采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小,因此允许电路进行高倍率放大,使仪器具有很高的灵敏度。
参考资料来源:百度百科--电容式传感器
电容式传感器极板之间存在静电场,式边缘处的电场分布不均匀,造成电容的边缘效应,这相当于再传感器的电容里并联了一个电容,这就叫边缘效应。不利影响:会引起极板间的电场分布不均,导致非线性问题仍让存在,且灵敏度下降。
对于电容式传感器,当极板厚度与极板距离可比时,两极板边缘处电力线出现分布不均匀现象,简称边缘效应
同学江南大学的吧,在写实验报告呀