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在离子注入工艺中,有一道工艺是”沟道器件轻掺杂源(漏)区”,其目的是减小电场峰植和热电子效应!
在离子注入工艺中,有一道工艺是”沟道器件轻掺杂源(漏)区”,其目的是减小电场峰植和热电子效应!
2025-03-04 21:06:37
推荐回答（1个）
回答1：
注极体效应，就是靠掺杂度源漏极电区便薄，当有电压加到源漏两端时，来抵消电场的。
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