又有一定影响，超声波后会在半导体表面形成一层薄薄的水层（如果你是用去离子水超声，如果是用酒精或者是丙酮的话也会有一层有机物的)这层水分子层不会很多也就几个原子的量级，但是用氮气或者氩气其表面的话仍然也会有一点影响，但是导致其电阻是否变大还是变小就不清楚了，这要看你半导体电阻的真实值和水层的电阻大小有关，如果你不想这层水层有影响的话，超声后最好放到真空烘箱里面烘一下，温度设定在50到60度。如果没有条件的话，建议多测几次求平均值。当然除了水的影响，可能还会跟半导体表面的微结构有关系，超声波是一种能量，这个能量有没有可能导致半导体表面微结构发生改变，这我也不知道。但是通常我们认为是没有关系的，如果在超声前和超声后的电阻变化不大，可以认为是没有影响的，但如果相差很大的话，你可以考虑是不是超声导致你的半导体结构发生改变了。
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