真空镀膜如何减少里面的灰尘？

2025-03-11 04:36:35

推荐回答（4个）

回答1：

首先是衬底材料的清洗，必须要做到严格合乎工艺要求；
其次是真空室内的清洁问题，镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理；
还有，使用的源材料要符合必要的纯度要求；
最后，样品取出后放置环境也要注意清洁的问题。
适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。

回答2：

所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合，则要求压力更低。

回答3：

使用静电除尘行吗。

回答4：

建议你去专业点的地方问。