首先要知道原子层沉积，是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型（厚度，成份和结构），优异的沉积均匀性和一致性使得其在晶体领域具有广泛的应用潜力。
籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体，籽晶可用来促进单晶体的形成。
综上，籽晶层是用原子层沉积技术将籽晶一层一层的镀在基底表面，形成籽晶层。
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