低真空下，氩原子在电场作用下被电离，产生的正电荷氩离子轰击作为阴极的靶材，将靶材表面的原子打击下来，这就是溅射。磁控是在阴极靶材周围布局的一圈永磁磁钢来实现的，目的就是利用洛伦兹力原理让被电离的氩离子尽多的打击在靶上，同时氩离子速度也能被加速，动能增大，溅射速度加快。
