扩散工艺的目的是形成晶体硅太阳电池的心脏PN结，目前主要扩散方法是应用三氯氧磷液态源扩散。工艺过程中需要在P型硅片中掺杂磷元素，液态源一般是POCl3，POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，方块电阻结均匀等优点。除了POCl3以外，还需要有携带气体，一般使用N2（称为小氮），相关的反应气体O2和直接通入炉内起稀释缓冲和控制作用的N2（称为大氮）。
