硫酸双氧水3比1混合可以将金属Cr薄膜腐蚀吗?还是会钝化?

2025-04-10 08:05:07
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回答1:

在微电子工艺中浓硫酸和双氧水的组合配方能用来强力清洗硅片表面的金属离子,所以说它对金属的溶解性挺强的,应该会使Cr溶解。但是我没有试过单质Cr放在冷却后的浓硫酸加双氧水的配方对Cr的溶解速率,有机会试过再补充给你。