还是哥来回答这个问题吧。
如果测量零件尺寸，上三坐标测量机，精确到2微米，
光学测量，精确到1微米，激光传感器，精确到0.5微米。
但是只能测量点到传感器的距离。如果要测量两点连线到面的距离，首先我得说，线到面的距离只有当线与面互相平行的时候才存在，否则不存在线与面的距离这一说。用激光传感器测量，加上自己编写程序进行拟合。
估计你的零件尺寸也不大。激光位移传感器肯定做得到，就是你3K以下的价格实在做不到，激光传感器+后续信号调理价格在万元左右。每秒钟采样38万次。
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