磁控溅射Cu的时候,基底温度大概有多少度?要是溅射铝呢?能不能在塑料上溅射铜呢?

2025-01-07 06:55:33
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回答1:

一般的磁控溅射基材都是不加温的,镀膜过程中,原子、原子团、分子沉积在基材上引起的温度升高一般不会太高,当然如果想附着力提高的话,提前预热基材倒是可以的。一般普通磁控溅射基材温度也就40-50℃。溅射材质关系不是太大,倒是溅射功率影响很大,调整溅射功率控制基材温度吧。塑料上镀膜一般没有问题,国内多家手机壳镀膜都在实现。主要就是需要提前对塑料基材进行去油、清洗等处理。

回答2:

基底温度是要看你所用的材料而定,金属基底温度可以高一些,甚至可以加热到近300度,结合力也更好。如是塑料基底,因为本身耐温差,因此不适宜加热。当然可以在塑料上镀铜的,但是必须先做离子轰击处理。