1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
