真空计坏了，你看看电阻规电离规是否正常工作。
炉腔内热场潮湿，建议先烘干，打扫干净。
进气系统的进气阀不好，可能漏气
法兰出的密封你检查过吗？
我没用过ARC设备，以前用的是GT Solar的，我想长晶炉原理可能不一样，大体结构还是相似的，希望能帮到你
