我觉得你所说的变形是指，在切割过程中由于材料发生扭曲而导致工件的加工精度受到影响，而不是加工完成后工件的平面度无法得到保证。
若是前者，那很好解决，你可以找两块1--2mm的辅助装夹薄材将0.1mm的材料夹在中间，然后一起装夹进行切割。这样可以保证0.1的薄材工件精度。前提是你所找的辅助装夹薄材平面度要好（这一点也可以在装夹过程中实现）。
若你的问题出于后者，那我也爱莫能助了，因为这个问题相当难以解决，迄今为止我没有更好的解决办法。但用以上的方法可以在一定程度上保证工件平面度，至少应该比直接上薄材加工要好很多。
以上属个人建议，若有不周到的地方还请多提意见。
1.电参数调小一点，合适的参数只有自己试
2.可以尝试打穿丝孔，穿丝加工，这样应力释放不出，就不会变形。
很简单的，放在两块铁板中夹紧加工，可以一次加工好多件~~
用胶水粘着别的材料搞厚点,就OK
把一楼和四楼的结合起来用吧
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