碳碳坩埚使用中出现裂纹是怎么回事

第一次拉单晶硅棒,在使用时R角处出现了裂纹
2025-04-06 03:25:19
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回答1:

第一、R角处属于重力及膨胀力集中的地方;
第二、经过长时间使用之后,其硅蒸气腐蚀掉了碳碳部件的边缘;
第三、如果使用的是整体直筒坩埚,那么在取石英坩埚的时候外力敲击引起碳碳坩埚的纤维损坏。
另外、碳碳坩埚在制作预制体过程中,其编制顺序及工艺也有可能会引起裂纹。