非晶硅薄膜电池,
顾名思议, 它是将非晶硅以薄膜的形式沉积在载体上形成的太阳能电池,
其薄膜就是非晶硅太阳能电池,即相对于多晶硅太阳能电池, 不过非晶硅电池非常薄.
非晶硅薄膜电池,包含PIN结构, 现在有些电池已经具双结构,或三结构, 即两层PIN结, 或三层PIN结.
下面是非晶硅太阳能电池PIN结沉积方法:
把硅烷(SiH4)等原料气体导入真空度保持在10—1000Pa的反应室中，由于射频(RF)电场的作用,产生辉光放电，原料气体被分解，在玻璃或者不锈钢等衬底上形成非晶硅薄膜材料。此时如果原料气体中混入硅烷(B2H6)即能生成P型非晶硅,混入磷烷(PH3)即能生成N型非晶硅。仅仅用变换原料气体的方法就可生成pin结，做成电池。为了得到重复性好、性能良好的太阳电池，避免反应室内壁和电极上残存的杂质掺入到电池中，一般都利用隔离的连续等离子反应制造装置，即p,i,n各层分别在专用的反应室内沉积。
更详细的解释请参阅我的博客:
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