看你的题目,差点咬到舌头。真空是一个动态平衡的状态,一方面你泵在抽,一方面真空设备在往里漏,别说我的设备不漏,所有设备都是在漏的,只是各个漏点小的你不能察觉,但是整体还是在泄漏的。所以设备达不到泵的真空是正常的,设备的极限真空比泵要高一些。如果想继续往下抽,一可以加大泵的抽速,换泵呗。二再查查漏点,能堵一点是一点
主泵抽速太低
你的真空设备总的管路和腔体等会形成一定的阻碍,所以你的真空度在泵口测和在经过管路后测试是不一样的。而且楼上说得对,没有绝对无漏,更没有绝对真空,都是相对真空。