光栅传感器怎么提高测量精度

2025-03-07 03:21:25
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光栅块条形光玻璃密集等间距平行刻线刻线密度 10~100线/毫米由光栅形叠栅条纹具光放作用误差平均效应能提高测量精度传器由标尺光栅、指示光栅、光路系统测量系统四部组